Научное направление
Выполнение научной программы кафедры физической электроники осуществляется на базе научных лабораторий кафедры:
Группа сотрудников кафедры физической выполняет тему "Получение, реальная структура, некоторые объемные и поверхностные свойства полупроводников, полупроводниковых оксидов в виде кристаллов, монокристаллических слоев, пленок, многослойных структур на их основе, а также поверхностных явлений, обусловленные адсорбцией акцепторных и донорных газов". Данную группу возглавляет профессор М.Х. Рабаданов, исполнителями данной темы являются сотрудники кафедры, аспиранты, студенты, курсовики и дипломники. Приоритет исследований по данной теме закреплен не только опубликованием более 200 статей, выполнением 14 работ на соискание ученых степеней докторских и кандидатских диссертаций, но и получением 16 авторских свидетельств и патентов. Деятельность лаборатории технологии синтеза полупроводниковых наноматериалов и тонких пленок направлена на решение научно-исследовательских и опытно-конструкторских задач, направленных на разработку и оптимизацию технологии получения наноструктурированных материалов с заданными физическими свойствами на основе широкозонных оксидов и нитридов, а так же многокомпонентных сегнетопьезокерамических материалов различного состава для элементной базы оптоэлектроники, устройств памяти, люминесцентных и светодиодных наноматериалов, систем отображения информации и др. Лаборатория технологии синтеза полупроводниковых наноматериалов и тонких пленок размещается в четырех лабораторных помещениях общей площадью 112 кв. м., инженерное состояние которых соответствует требованиям, предъявляемым к эксплуатации высокоточного научного оборудования. В частности, лабораторные помещения имеют высокостабилизированное электропитание, раздельное двухконтурное заземление, водопровод, канализация, тепло, кондиционирование, вентиляция, водяное охлаждение, интернет, телефон. Приборная база лаборатории: 1. Автоматизированный многофункциональный комплекс для магнетронного нанесения покрытий «ВАТТ АМК-МИ» (ЗАО «Ферри-Ватт», РФ). Технологический комплекс предназначен для решения исследовательских задач по отработке воспроизводимой технологии осаждения тонких пленок с заданными свойствами и осаждения покрытий на подложки больших размеров (до формата А4), по заранее отработанной технологии, что позволяет форсировать промежуточное масштабирование технологии в лабораторных условиях до промышленного уровня. Система полностью автоматизирована (от стадии загрузки образцов до их выгрузки). В установке использованы современные безмаслянные средства откачки и измерения вакуума и предусмотрена возможность подключения малогабаритных исследовательских вакуумных камер. Технологический комплекс состоит из двух вакуумных камер: малой и большой. В большой камере расположены 3 линейных магнетрона и один линейный источник ионов, а в малой камере – 4 круглых магнетрона и ионный источник, что позволяет осуществлять финишную очистку подложки перед нанесением слоя и ионно-ассистированного осаждения слоев. Трехканальная система напуска рабочих газов в вакуумную камеру позволяет получать покрытия практически из любых металлов, сплавов, диэлектриков и полупроводниковых материалов. 2. Комплекс установок для выращивания монокристаллов группы A2B6 методом химических транспортных реакций. Данный технологический комплекс предназначен для выращивания монокристаллов группы A2B6 методом химических транспортных реакций диаметром до 25 мм. Технологический комплекс позволяет менять режимы роста кристаллов, отрабатывать методики их получения, а также проводить научно-технические исследования, которые приведут к синтезу новых материалов, востребованных в научно-исследовательских организациях. 3. Азотная станция LNP-40 (Criomech, США), позволяющая получать высокочистый жидкий азот объемом до 40 л/день. Технологическая установка сформированан на основе следующих комлпектующих и оборудования:
Методики исследования:
Лаборатория оптической и лазерной спектроскопии. Деятельность лаборатории оптической и лазерной спектроскопии связана с выполнением комплексных экспериментальных и теоретических исследований спектральных, время-разрешенных, поляризационных и пространственных характеристик случайно-неоднородных рассеивающих и поглощающих сред (неравновесные нестационарные плазменные среды, органические, биоорганические и полимерные соединения, живые биосистемы) с использованием методов лазерной оптической и нелинейно-оптической спектроскопии и микроскопии УФ, видимого и ИК диапазонов спектра. Приборная база лаборатории: На сегодняшний день лаборатория оптической и лазерной спектроскопии располагает следующим научно-аналитическим оборудованием: Лазерно-спектрометрический комплекс сформирован на базе следующего оборудования: - эксимерный лазер CL-5100 (ИОФАН, г. Троицк) на смеси XeCl (?=308 нм) в комплексе с перестраиваемым по длинам волн лазером на красителях ЛЖИ-504 (?=350-800 нм); - высокоскростная система видео- и фотодетектирования SP-2358/ PI-MAX3: 1024i (Princeton Instruments, США) оптических сигналов с одновременным разрешением по спектру в диапазоне длин волн 200-1100 нм и по времени около 2.0 нс; - монохроматор/спектрограф MS7504i в комплексе с CCD-детектором HS102H-2048/14 и высокоскоростным ФЭУ-модулем H6820 (SOL-Instruments, Республика Беларусь; Hamamatsu, Япония), позволяющий регистрировать оптические сигналы в диапазоне длин волн 200-1100 нм со спектральным разрешением менее 0.1 A и временным разрешением 0.7 нс; монохроматор/спектрограф MS3504i в комплексе с CCD-детектором HS103H-2048/14 и высокоскоростным ФЭУ-модулем H6820 (SOL-Instruments, Республика Беларусь) позволяющий регистрировать оптические сигналы в диапазоне длин волн 200-1100 нм со спектральным разрешением менее 1.0 A и временным разрешением 0.7 нс;
2. Экспериментальный масс-спектрометрический комплекс (ЭМК), предназначенный для проведения научно-аналитических исследований эксплуатации новых материалов и веществ в условиях воздействия высокого вакуума, градиентов температур и различных ионизирующих излучений (электронных пучков, рентгеновского излучения и УФ-излучения).
3. Экспериментальный лазерно-оптический микроскоп-спектрометр,предназначенный для исследования морфологии, структуры и состава биоорганических и живых систем с использованием методов оптической и лазерно-индуцированной флуоресцентной и рамановской спектроскопии и микроскопии в диапазоне длин волн 200-1100 нм, временным разрешением менее 1 нс и пространственным разрешением до 500 нм. Экспериментальный лазерно-оптический микроскоп-спектрометр сформирован на основе следующего оборудования:
5. ИК Фурье-спектрометр Nicolet 6700 (Thermofisher Scientific Inc, США), предназначенный для исследования компонентных и структурных свойств молекул, а так же внутри- и межмолекулярного взаимодействия органических и неорганических проб и веществ в спектральном диапазоне 7800-50 см-1. Лаборатория оптической и лазерной спектроскопии размещается в двух лабораторных помещениях общей площадью 140 кв. м., инженерное состояние которых соответствует требованиям, предъявляемым к эксплуатации высокоточного научного оборудования. В частности, лабораторные помещения имеют высокостабилизированное электропитание, раздельное двухконтурное заземление, водопровод, канализация, тепло, кондиционирование, вентиляция, водяное охлаждение, интернет, телефон.
|